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11/12
2021
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陈铭勇
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职位
深圳市灿锐科技有限公司
公司名称
技术副总、实战专家
专家概要
在高精度大口径远心镜头及远心光源的设计、制造和检测方面进行过深入研究,对远心镜头各项光学性能与实际应用精度之间的关系有较为全面的了解。借助于紫外光刻投影成像系统技术的研究成果,将其引入到了高分辨率高倍率远心镜头的设计、制造和检测方面。
个人简介

陈铭勇,1982年出生于成都市,毕业于中国海洋大学水声学专业、四川大学光学专业。

2007/08-2009/02,芯硕半导体有限公司

2009/02-2013/03,中国科学院光电技术研究所,微电子装配总体研究实验室,助理研究员

曾经的主要研究方向为微电子/半导体制造设备设计制造,曾参与激光直写设备、无掩模光刻设备、接近接触光刻设备、投影光刻设备的光学系统的设计和制造。在紫外光刻设备投影成像系统,高均匀性高亮度紫外照明系统、焦面检测系统、对准系统的光学设计、组装调试方面具有较为丰富的经验。

2013/4-今:深圳市灿锐科技有限公司,技术副总

在高精度大口径远心镜头及远心光源的设计、制造和检测方面进行过深入研究,对远心镜头各项光学性能与实际应用精度之间的关系有较为全面的了解。借助于紫外光刻投影成像系统技术的研究成果,将其引入到了高分辨率高倍率远心镜头的设计、制造和检测方面。

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