东正光学PLS16500APO-C镜头是针对半导体、晶圆、TFT-lcd对分辨率要求极高的检验领域而新推出的高倍率、高分辨率线扫镜头。

图1 PLS16500APO-C

   搭配16K 5u相机，物方精度高达1u，拥有300lp/mm超高解像力。配备同轴棱镜，方便接入线阵光源，实现同轴打光效果；

   整个镜头视野中心和边缘成像表现高度一致，相对照度（亮度均匀性）全视场超过99.9%，最大畸变<0.007%保证在半导体领域精细图案测量；<>

   采用超低色散玻璃材料和复消色差（APO）技术，实现近乎零色差，适用于对色彩还原要求极高的检测应用；

   最大支持靶面φ90mm，保证了在高精度检测的同时实现更大视野检测，配合16k 5u相机，检测视野高达16.4mm，使用在设备当中可有效减少相机数量，节省硬件成本，实现高效检验；

   采用全欧(TRIOPTICS) ImageMaster® HR 传函仪测试数据如下 ，同时也对比了国外某知名品牌，结果表明东正光学PLS16500-C镜头中心至边缘成像一致性和色差明显较好。

PLS16500APO-C MTF(S方向)

PLS16500APO-C MTF(T方向)

竞品 MTF(S方向)

竞品 MTF(S方向)

图2 MTF实测对比PLS-16500APO-C 色差大小竞品色差大小

图3 色差实测大小对比

   客户检测8.5代tft-lcd实拍对比，同样达到F2光圈

PLS16500APO-C实拍

竞品实拍

图4 tft-lcd客户现场实拍对比

   为了满足不同检测精度需要，东正光学推出了4.375倍和6.2倍（业内首款，分辨率<1u），且每款倍率都有带同轴棱镜和不带同轴棱镜两种类型。目前正在开发更大通光量升级版本，搭配频闪光源，实现同时多种打光效果，完美契合半导体wafer缺陷检测需求。<>