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12/01
2022
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使用点传感器测厚时的精度和重复性的优异表现,更加适合如今的工业应用需求
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2022-12-01 10:22:26来源: 中国机器视觉网

夹胶玻璃以其附着力强、高透明度等特点,在建筑、汽车、航天、军事和高新技术工业中得以广泛的应用。而为实现其既定功能,需要确保夹胶层的有关参数和外形符合标准工艺要求,此时对量产过程中的测量传感器的精度和重复性均提出了极高要求。本次我们将以玻璃夹胶层厚度的测量过程,展现普雷茨特白光干涉系列传感器在测厚时的精度和重复性表现。普遍的认知为:重复性越好.误差也越小,因此测量结果也更加精准,而普雷茨特的点传感器不仅在精度上可达到纳米级别,在高采样频率下也可实现纳米级的重复性精度。

测量实物

本次测试的硅片样品如下图所示:

微信图片_20221201102311.png

本次样品有米色(上图命名 beige)和透明色(上图命名 clear)两种,在自然光下也可以看到,米色颜色略深一些。下图为样品结构示意图:样品为多层结构,中间层即为胶水层,标准工艺要求其厚度在 10-20 μm 之间。

微信图片_20221201102343.png

测量步骤

微信图片_20221201102346.jpg

传感器: CHR 2S HS;测量原理:白光干涉

扫描结果

下图为实际使用情景:

微信图片_20221201102349.png

1)针对样品 beige,在样品上任意取 9 个点,查看在 10 kHz 采样频率下的测量结果。测的数据如下图所示:

微信图片_20221201102352.png

微信图片_20221201102354.png

从上述表格可以看出其测量厚度在精确至纳米的同时,依旧能保持静态数据重复性保持在 ±0.001 um 范围之内,是非常理想的测量结果。

2)针对样品 clear,在 1 kHz 采样频率下,实测数据如下,依旧能保持纳米级别的精度和静态重复性。

微信图片_20221201102357.png

微信图片_20221201102359.png

4CHR 2S 系列传感器

作为 CHRocodile 传感器系列中成功的产品,CHRocodile 第二代传感器经改进后更加适合如今的工业应用需求。

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新的高性能电子器件结合高速以太网接口,高强度白光 LED 和高灵敏度的探测器,使传感器可实现高达 66,000 次每秒的测量速度和高测量精度;新一代传感器配置了自动光源控制装置,可实现非接触式距离,形貌和厚度的测试,甚至对于复杂的几何形状和拥有不同反射率,粗糙度和折射率的材料的测量任务都可胜任。测量具有极高的精度和复现性,甚至在测试环境波动的情况下都相当稳定;CHRocodile 2 传感器可在光谱共焦和干涉模式下轻松切换,以此来实现诸如透明塑料和多层膜的更多的测量的可能性。