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04/11
2023
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为满足贴片焊接要求,芯片引脚缺陷检测应用,为半导体检测赋能
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2023-04-11 16:26:29来源: 中国机器视觉网

芯片引脚又称管脚,英文称Pin,是从芯片内部电路引出与外围电路的接线,相当于芯片的接口。在芯片生产工艺中,如果引脚出现缺失、破损、歪斜或上下不平,就容易造成后续贴片焊接时形成虚焊、虚接和漏接情况,最终影响芯片的可靠性。为满足后续工序贴片焊接要求,需对芯片引脚进行缺陷检测。

基于芯片引脚宽度越来越小、数目越来越多的特征,传统引脚缺陷检测方法人工成本高,精度和效率低,还易对引脚造成二次伤害。如何在芯片快速传输的过程中,高效准确地对引脚缺陷进行非接触式测量分析,是芯片厂商亟待解决的问题。以某客户芯片引脚检测过程为例,展示SPEC10系列3D线光谱共焦传感器在非接触式量测应用表现。

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测量需求   

芯片表面三维表面形貌检测,测量引脚宽度、高度差及异常引脚数据。

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检测效果   

通过扫描芯片正面和底部,可获取到芯片引脚完整的3D点云图,快速检测出歪斜状态的引脚,如下图红圈所示。

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结合产品特点及客户的检测需求,我们截取各长度方向引脚剖面图,测得各引脚宽度、高度差数据,通过排除歪斜引脚,可计算出各引脚的平均宽度和高度标准偏差。

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方案优势   

4500Hz超高速成像,有效缩短检测时间,提高生产效率;超高分辨、亚微米级高精度,误检率低;同轴光测量,不受光强和被测物表面材质影响,无测量盲区;软硬件一体化,支持多型号和多检测场景,降低生产成本。

随着先进工艺集成度和电路复杂度日益攀升,更具竞争力的光学量测设备才能更好地迎合检测市场需求。熵智科技全自主研发的SPEC10系列3D线光谱共焦传感器,不仅测量精度高、角度适应性广、环境适应性强,几乎可测所有表面类型,且易集成到高端测量设备和空间有限的区域中,为半导体检测赋能。