如何为红外波段的视觉应用选择合适的产品--机器视觉网

当下中国半导体行业正在蓬勃发展，但半导体设备行业也遇到了很多新挑战，如Si基晶圆的内部隐裂、带膜切割、对位贴合等。这类型的应用中，往往需要穿透硅基进行成像。可见光源通常无法穿透Si基材质，而短波红外（大于1100nm）波长的光在Si基材质中的透过率较高，故在晶圆检测设备中，短波红外及近红外的光源被广泛应用。与之相匹配的，镜头也需要提高红外光的透过率，才能得到更好的成像效果。

一、近红外跟短波红外的定义

光的本质其实是一种电磁波，如果把电磁波按照波长来划分，光波的范围大约在10nm~1mm。其中，波长范围约400nm~750nm之间的，可以被人眼感知，也就是我们日常接触最多可见光。波长大于750nm的光称之为红外光。

在红外光内750nm-1900nm之间的近红外和短波红外又是在机器视觉中常用的波段，它不被人眼所感知，但其在特定介质（如人体组织，Si基载体）中优秀的穿透能力，让其在医疗，晶圆检测等行业有着广泛的应用，和不可替代的作用。

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二、近红外/红外波段产品

2.1近红外镜头产品MML-NIR系列镜头

该系列镜头是专门的红外设计，有3个倍率可选，分别是4x，6x，8x。

2.1.1产品特性

专为700-1200nm的波段设计；搭配红外相机与红外光源使用，可以实现在半导体行业里对Si晶圆内部缺陷的检测，带膜切割以及背面图案的观察等诸多应用。

2.1.2应用

半导体晶圆定位、MEMS检测、Si wafer检测。

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近红外的产品除了MML-NIR系列，茉丽特还有MML-Z07545D-IR对应红外波段的可变焦镜头，倍率在0.75x~4.5x之间可变。可分别实现粗略和精准对位应用，以及可见光-红外波段的上下双视野光学单元，可以在半导体行业中观测位置，实现高精度的对位。

2.2 短波红外远心镜头MML-SWIR系列

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该系列镜头是专门的红外设计，有2个倍率可选，分别是2x，2.5x。

2.2.1产品特性

专为900nm~1700nm波段设计、支持43mm靶面芯片。

2.2.2应用

晶圆检测、Mini LED/Micro LED显示屏检查。

2.3短波红外大靶面FA系列ML-26F-SWIR

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2.3.1产品特性

该镜头专为900nm~1700nm波段设计、支持最大靶面26mm，1k25um，2k12.5um、可搭配棱镜相机使用。

2.3.2应用

晶圆检测、mini/micro LED检测、光学分选、食品，农业检测。

两款短波红外镜头都是在900nm-1700nm镀有增透膜，因此在使用中，一定要搭配红外光源以及在短波红外波段高响应的InGaAs探测器一起使用，才会得到理想的图像效果。

最后，Moritex针对小靶面的FA镜头大多都有可见光-近红外镀膜的，常用于食品包装，液面检测等行业。此文主要介绍半导体相关应用的红外镜头产品，小靶面FA镜头在此文中不再赘述。