碳化硅精密陶瓷-三得精密
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公司名称：深圳三得精密技术有限公司
发布时间：2022-03-14
有效日期：2025-03-14
应用领域：精工和光学半导体
关键词：配件
发布时间：2022-03-14
有效日期：2025-03-14
应用领域：精工和光学半导体
关键词：配件
产品详情
深圳三得精密技术有限公司，www.tptet.com，提供平场复消色差物镜、线性扫描镜头、半导体晶圆吸盘、精密陶瓷等高精密产品，多应用于PCB检测、液晶面板检测、半导体晶圆检测等AOI光学检测设备上。
三得精密产品，日本精工、质量保证、价格优惠、交期快捷，为机器视觉检测行业的首选。若需更多信息，请与我们联系：sales@tptet.com
日本精密陶瓷产品，质量保证。
碳化硅精密陶瓷（SiC）是一种黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高温环境（1000℃以上）中机械强度降低幅度小、热传导性高、耐磨耗性高。因其强共价键，在各种精密陶瓷材料中硬度最高、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好。
特点：
• 高温机械强度
• 耐磨耗性
• 高热传导性
• 耐腐蚀性
主要用途：
• 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘）
• 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）
| 型号 | 特点 | 密度 g/cm3 | 杨氏弹性模量 GPa | 弯曲强度 MPa | 断裂韧性 MPa・m1/2 | 热膨胀系数 ×10-6/K | 热传导率 W/m・K | 体积电阻 Ω・cm |
| SCP01 | 耐腐蚀 高硬度 | 3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 140 | 104 |
| SCP02 | 高热传导 高电阻 | 3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 170 | 106 |
| SCP03 | 高强度 气孔小 | 3.1 | 436 | 700 | 3 | 3.1 | 132 | -- |
热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。
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