石英玻璃具有一系列优异的物理化学性能,广泛地应用在航空,国防,科研等领域中.但因为其典型的高硬脆性特性,使其结构件的加工制造一直存在难题,尤其是微孔及微孔阵列等微纳米级的精细加工始终存在难以突破的瓶颈,而这种玻璃微孔阵列在微电子封装,MEMS器件封装,生物和医疗等领域玻璃转接板微孔金属穿丝方面具有巨大的应用需求。

‍

南京鑫业诚机器人科技有限公司针对这一制造领域的难点,比较系统地研究了皮秒短脉冲激光对石英玻璃精细加工的基本规律,推出了精密激光钻孔设备ORT-HOLE-150。

精密激光钻孔设备

激光精密钻孔设备使用高分辨率相机定位及高精度超快激光器对石英玻璃产品进行加工，可以实现玻璃片钻孔加工。设备采用相机和高精度激光器联动作业，确保加工产品数据的准确性、高效率及设备的长使用寿命，设备采用全新人性化设计的软件，可以对石英玻璃实现快速、平稳及准确的加工。

产品特点

‍1、相比传统纳秒紫外激光切割，可实现材料无碳化无烧蚀分离，无需复杂后处理 

2、无应力，对板的热影响小，无分层 

3、切割深度宽度准确可控，精度高良率高 

4、集成参数库管理，可实现对接MES系统和 ERP系统，全流程参数监控和追溯 

5、自主开发软件，功能丰富 

6、人性化软件界面，操作简易，稳定性强、

精密的设备

1、方通焊接框架加大理石平台立柱，设备整体稳定性好，结构刚性强； 

2、工作台Z向垂直度高，保证加工精度； 

3、大理石工作台，Z轴经特殊调校，保证Z轴行程与工作台玻璃的垂直度，确保台阶工件的测量精度。

智能的软件

1、多种输出报表格式选择，DXF. WORD. EXCEL等， CAD图档导入对比； 

2、丰富的几何加工功能，点、线、圆、弧、椭圆、 槽、矩形、环、曲线等的绘制及加工。 

3、报表数据直接进行SPC数据分析，自动计算Ca,Cp,Cpk,Max,Min,Range,Avg,Std等关键参数。 

4、可以加工各种复杂图形包括曲线。

超快的加工

1、检测产品大小，192*128视野范围内适用于各种产品的检测。 

2、单个产品/特征的检测/加工快。 

3、图像运算速度快，强大的图像运算处理及计算能力，工作不必摆正，有座标转换功能，量测效率高。

稳定的性能

1、连续运行低故障率，正常6个月基础保养一次。 

2、连续运行高稼动率，7*20小时不间断运行。 

3、使用寿命长，选用进口高精密组件模组确保设备长期使用稳定性。 

4、重复重现性好，设备长时间运行设备精度维持不变。

加工方式

振镜扫描平场聚焦加工方式， 使得聚焦光斑最小，打到产品表面。