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(CMVU)
硅片表面缺陷检测和硅片破损检测
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2021-06-17 11:47:30来源: 中国机器视觉网
1、光伏行业的硅片视觉检测
光伏行业近年来越来越重视硅片等产品的质量检测,以往常见的硅片会出现尺寸不合格、崩边、隐裂等问题。
2、基于visionbank智能视觉系统的硅片在线检测技术
目前解决硅片检测的重要方法是依托机器视觉技术进行解决,通过在线视觉检测技术实现对人工检测的替换,提升检测的准确性和减少人力成本。
目前在线检测硅片处于运动状态,一般速度在160mm/r 以上,随着机器视觉软硬件技术的发展,速度会更快。该基于visionbank智能视觉系统的硅片在线检测技术,主要视觉组成部件包含MV-EM工业相机、BT-MP5工业镜头、VisionBank智能视觉软件、svc600智能视觉控制器等;硅片在检测时会被传送到相机视野里,通过触发实现硅片图片采集。
2.1硅片在线检测工艺流程
2.2硅片在线视觉检测系统配置
硅片在线视觉检测系统的基本原理是:触发相机拍照→(CCD/CMOS工业相机)采集图像→嵌入式VisionBank svc600智能视觉系统软件进行识別判断处理并反馈给PLC进行相应的处理。为提高检测效果,降低软件的处理难度,要有背光源作为辅助。
2.3检测效果
通过不断优化模板设置,进行大批量的测试,检测系统可检出非常微小的破损,如崩边、崩角、隐裂、穿孔等等。这些硅片的提前剔除为提升后道工序的品质、减少后续工艺浪费有重要意义。且检出>99.9%,误检率<0.01%,响应时间0.1s,得到了客户的认可。
维视智造通过硬软件上的不断测试,依托VisionBank人工智能视觉系统的成熟功能模块,实现了硅片视觉检测应用。在批量生产的110台装片机上得到了检验,通过硅片视觉检测检测,使得硅片生产加工成品的品质得到了很大的提升。
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