晶圆半导体制程必须严密监控且无尘的工作环境中进行，只要有一点污染可能就会影响整批晶圆，影响产能，现今半导体无尘室中配备多台自主机器人多进行搬运工作以减少人工带来的污染。The Imaging Source及经销商与晶圆厂合作，运用机器视觉系统的方式进行检测及数值记录回报，大幅降低无尘室受污染的机率，也令检测过程更有效率。

无尘室自主机器人脏污检测

晶圆片价格昂贵且价值高，在半导体无尘室中，晶圆的制程小划分为好几个阶段与步骤，就像生产流水线，每个阶段都有自己的工作站，而因为晶圆脆弱易损，在工作站间运送晶圆变成了很大的课题，现大部分的半导体无尘室导入自动化系统，利用自主机器人的灵敏度来提取并运送晶圆至下一个工作站，搭配工作人员进行机台设定及检验，提供产品最佳的保护，也严格把关晶圆厂无尘室中每一个环节，虽然已大幅降低无尘室受污染的可能，自主机器人仍有可能在移动 过程中附着脏污或尘。为确保自主机器人在运送过程中维持无尘状态，晶圆厂设立专门机器人检测站，每隔一段时间机器人便需自行移动至检测站，进行全身检测，The Imaging Source GigE相机安装于检测站中，使用不同角度拍摄捕捉图像。The Imaging Source DMk33GX183 相机配备Sony CMOS 传感器，分辨率高达20MP，可呈现清晰图像，细节均可完整捕捉，高传输速度搭配后端视觉软件，可快速找出有脏污或受污染的地方。  受污染的机器人由专门人员去除脏污，再次检测无误，就能再进行晶圆搬运任务。

晶圆厂运用The Imaging Source GigE相机检测厂内自主机器人是否受到污染

黄光室设备数值记录及回报

黄光室为进行晶圆片成像必须经过微影成像术的区域，为了避免光阻受到曝光机外的光线照射，需把整个照明光源过滤，阻绝一定波长的紫外光，所以使用特制的灯罩、门窗，而制程包含清洗、涂布、涂胶、曝光、显影、蚀刻等过程。所有制程过程都需为无尘作业，必须避免晶圆片在过程中受到任何污染。相较于以往人工手抄机台在制程过程中产生的数据，晶圆厂商使用USB 相机 （ DFK 33UX287 ）进行黄光室制程设备数据的纪录与检验，在靠近机台的地方安装相机进行拍摄，将获取的数据资料借由树莓派传输至后端电脑进行记录及验证，以避免任何一个环节出现错误。The Imaging Source USB 3.0 彩色工业相机配备来自SONY 先进的CMOS传感器技术，提供优越的影像质量，即使在不理想的光源仍能提供出色且清晰的影像，高效能的USB 3.0接口则可以实现高帧速率需求，在昏暗的黄光室中能捕捉快速变化的数据且呈现清清晰图像。

The Imaging Source USB3.0 相机能在光线较不明的黄光室捕捉清晰的影像数据。

结语

在晶圆自动化的过程中，我们可以看到从最精密的晶圆瑕疵检测至晶圆厂区内各个制程环节都能借助机器视觉系统来帮助整个产程流动性更加顺畅及更有效率，也能迎刃而解因污染而产生的问题。晶圆厂渐渐朝向逐渐完全自动化的方向前进，而机器视觉在此过程中也扮演了不可或缺的角色，期望未来能在晶圆厂区内看到更多不同的机器视觉应用。