介绍：
　　　干涉物镜，有Michelson (2.5X and 5X) and Mirau (10X, 20X and 50X) ，适合非接触光学性能分析，200毫米镜筒远场校正设计。通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量观测精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜，从样品表面反射的光线通过再结合，就产生干涉图案。

参数：型号有CF IC EPI PLAN TI 2.5 , CCF IC EPI PLAN TIF IC EPI PLAN TI 5X , CF IC EPI PLAN DI 10X , CF IC EPI PLAN DI 20X ,CF IC EPI PLAN DI100X