随着超精密加工技术和精密镀膜技术的发展，包括高精密光学元件、半导体晶圆在内的超光滑表面元件的性能指标不断提升，超光滑表面元件的加工和使用都对缺陷检测提出更高的要求。

中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司针对行业需求，基于自研的仿人缺陷成像技术和深度学习缺陷分析技术，开发了大口径光学元件缺陷检测仪，适用于大口径光学材料等高反高透超精密光滑表面的缺陷检测和分析，检测光学元件口径最大可超过米级尺寸。

大口径光学元件缺陷检测仪

大口径光学元件缺陷检测仪，适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本系统是一款非接触式、全自动的检测仪器，能够高速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。

图：大口径光学元件缺陷检测仪设备外观

设备特点

大口径光学元件缺陷检测仪

1、缺陷数量检测、缺陷位置测量、缺陷尺寸检测；

2、亚微米至微米级缺陷；

3、检测对象最大尺寸超过1米；

4、高检出率、低漏检率；

5、全自动操作。

设备关键指标

图：检测缺陷类型

图 : 软件界面

图像采集分析软件具有自动变倍、自动调焦、光强和CCD参数设置，具备系统初始化，图像拼接、显示、处理、保存、局部放大等功能，能够对表面损伤状况进行显示、分析并保存记录。

强大的在线检测系统能够自动获取图像并对其进行后处理，获取损伤的尺寸、位置、分布、变化等信息，可对光学元件表面的损伤进行动态跟踪。

自研的“慧脑”深度学习平台，通过对图像数据扩增处理，结合针对缺陷形态和纹理专门设计的检测模型，可以实现对划伤、异物、凹凸等缺陷的精准检测和准确分类。

中科慧远部分产品简介
1、玻璃盖板外观缺陷检测设备