- 04/14
- 2023
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Vision小助手
(CMVU)
COOLENS新一代μm级高精度AOI Lens,业内NA值最高的全画幅高倍系列。AOI 是高精度加工制造制程中必不可少的工艺环节,以至于每一道制程后都需要AOI,越是精密精细复杂,AOI越是必须,刚需。半导体,FPD, 微纳加工,PCB,SMT等等是典型的应用领域。
AOI从1000μm量级,100μm量级,目前已经进入到1-10μm量级精度的提高,对成像镜头的挑战也更加艰巨。COOLENS认为:进入20μm,就应该弃用定焦可调,可用于不同物距和倍率的普适型照相类镜头,转为特定场景设计的Macro或Telecentric镜头,只有one by one 的设计才能满足< 20μm AOI。
高精度AOI Lens的高指标
· 大的成像靶面:From 4/3”(22mm) to 5.5”(88mm),更高的一次像素采集量,势在必须;突破C-Mount限制,采用类似线扫接口。
· 高成像分辨率:新一代传感器要求160线对甚至250线对支持,相对与施耐德线扫镜头70相对,顶级照相镜头的100线对。
· 低成像畸变率:面对像素级拼接场景需求,传统的以%来描述已经不适用。
· 苛刻的RGB色差矫正:随着RGB彩色及多光谱、高光谱AOI的发展,对光谱色差矫正更加苛刻。
· 高可靠:更高的一致性、可靠性要求。
新一代μm级高精度AOI Lens
· 高倍率大靶面远心:针对半导体检测及高精度测量设计。并支持可变光阑。
· 支持主流相机:可完美支持6500万 、7100万、 8K 5μm 和Φ44像面全画幅相机。
· NA值高达0.2:能达到更高的光通量,更高的极限分辨率。
· 高均匀性:同轴照明系统。可定制点光源尺寸
· 严格校正色差:460-650nm焦移量<0.043mm 。
· O/I尺寸短:节省安装空间。
典型应用场景
· 晶圆检测
参考配置:相机:2900万 5.5um;镜头:DTCA35F- 11C- G-M58-ALV3。
薄膜电路表面瑕疵检测
参考配置:相机:8K 5um;镜头:DTCA35F-11C-G-M58-ALV3。