前言

光谱共焦传感器是一种高精度、非接触式的测量装置,主要用于厚度和表面形貌检测，在精密制造领域得到广泛应用。然而，光谱共焦传感器长期面临技术壁垒与供应链高度集中的挑战。国际主流设备商虽占据先发优势，但其技术架构与服务体系主要针对标准化场景，难以满足中国精密制造业快速迭代的定制化需求。

埃科光电迎难而上，凭借深厚技术积累和强大研发实力，成功自研3D线光谱共焦传感器SG系列，精准匹配半导体、消费电子等行业的多样化需求，助力中国精密制造业打破“卡脖子”困局，加速产线升级进程。

产品介绍

埃科线光谱共焦传感器SG系列，基于同轴式光谱共聚焦技术开发而成，提供高达30KHz扫描速度，最大测量视野10.2mm，X方向分辨率可达1.9um，Z方向重复精度可达50nm，具有高精度、高速度、多功能、无接触在线检测等优势。

其成像原理可参考下图：宽光谱线光源发出的复色光（白光）通过色散透镜，将不同颜色的光聚焦到轴上不同位置；照射到待测物表面的光发生反射，只有在待测物表面处聚焦的反射光（单色）可以最大程度通过狭缝被光谱仪探测到；光谱仪测量反射光的波长，由此可以计算出待测物到色散透镜的距离，得到物体的高度信息。最后，通过高速扫描结合物体运动，即可实现物体表面3D成像。

光谱共聚焦原理图

产品优势

· 超高精度，亚微米级解析

SG系列提供超高分辨率，轮廓线点数最高4096个；点间隔小，X方向分辨率可达到1.9µm，Z方向重复精度可达50nm，能够精确捕捉微小细节，为深凹槽、凸点等亚微米级精度的复杂表面检测场景提供稳定可靠的检测数据。

· 极速响应，实现产能跃升

SG系列产品的最高扫描速率达到30kHz，满足高速在线检测节拍，即使在最大测量范围内，SG1007的扫描速率仍可达到8.9kHz，确保在高速生产线上不遗漏任何细节。

· 超大视野，强材质适应性

埃科线光谱共焦传感器提供出色的兼容角度（最大镜面兼容角度±50°），能够应对多种复杂表面检测，包括镜面、曲面、透明材料等。其中，SG4025提供10.2mm的超大测量视野，2.5mm的Z轴测量范围，能够减少扫描次数，覆盖较大的高度变化，提升检测效率。

应用领域

埃科线光谱共焦传感器SG系列不受材质、形状和反光的影响，对于深孔、缝隙、弯曲、透明等多种形貌或材质的表面测量有着高度的适应性，全量程都可保持高精度及高横向分辨率，广泛适用于半导体、消费电子、PCB、动力电池等多个精密制造领域。