薄膜测量与缺陷检测设备供应商Rudolph Technologies Inc.近期宣布，该公司新一代全表面缺陷探测系统已经开始向美国闪存制造商交货。该系统将用于圆片快速前端检测，AXi935缺陷检测系统集成了新型E25圆片边缘检测模块。

    AXi 935在继承了AXi 930的优势基础上，在实现高指标检测的基础上，可以提供更强的生产能力。AXi 935与E25在同一平台上的集成，可以实现前表面与圆片边缘的同时自动检测。同时数据将时时反馈，以实现圆片的自动配置。

    E25圆片边缘检测模块包含了多项新的增强型特征，例如针对边缘芯片和裂纹的光亮照明、增强表面覆盖率、简化生产流程与优化检测算法等。