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氦离子显微技术将推动纳米级成像技术发展
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2006-09-18 11:17:36来源: 中国视觉网
Carl Zeiss SMT公司于日前吞并了美国ALIS公司,并将其整合进Carl Zeiss SMT旗下的纳米技术系统分公司,利用ALIS新开发的氦离子显微技术来推动Carl Zeiss SMT现有的用于纳米级成像及分析的带电粒子技术的发展。Carl Zeiss SMT通过并购ALIS公司进一步巩固了其作为工业纳米技术解决方案提供商的位置。
Carl Zeiss SMT的总经理Dirk Stenkamp说:“由ALIS开发出来的氦离子显微技术对我们的扫描电子显微技术(SME)是一种很好的补充,并且将成为我们未来技术发展目标的一个重要组成部分。该技术还将为亚纳米成像、焦距深度调节和新的图像对比功能的发展提供无以伦比的便利条件。这将有助于我们的用户在半导体制造、材料以及生命科学应用中进一步突破技术上的局限从而更好地满足功能指标。”
ALIS公司于2005年成立,主要开发新一代原子级氦离子显微技术。该技术主要用于在已有的电子显微技术的基础上继续提高分辨率和图像采集速度。公司现有36名科学家和工程师。Carl Zeiss SMT从很多ALIS的赞助商和战略投资者那里购买了该公司的所有股份。
(中国图像网报道)
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