WiseOne® AM3020-掩膜自动拼接识别
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品牌:VINTAGE
型号:
应用领域:
类别:视觉系统
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类别:视觉系统
产品详情
掩膜(MASK)制作及使用过程中会出现图案失效、溢出等,会造成光刻错误,需要定期进行人工检测是否有破损漏光。
经过验证智能测量仪可以对各种规格的掩膜进行自动图像拼接并完成缺陷识别。
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