随着光通信、投影成像和光学扫描等应用领域的迅猛增长，用户对基于MEMS工艺的微振镜需求日益增加，对能够提供更强能量的微振镜也越来越迫切。为了满足这些需求，知芯传感推出了最新开发的微振镜产品——S50 MEMS 微振镜。

知芯S50 MEMS 微振镜是一款静电式单轴MEMS微振镜，有效镜面高达5x4mm，相较于市面上类似产品可以提供能量更强的反射光，有效满足用户日益提高的性能需求。芯片工作在谐振状态，具有镜面大、角度广、功耗低、体积小、可靠性强、重复度好等特点。表面镀金或铝，对可见光与红外光有较高的反射率。可广泛应用于光通信、激光成像、激光雷达和结构光三维测量等领域。

产品参数

应用场景

• 光通信：MEMS微振镜可以改变光通信过程中光的传播方向，对信息传递起到换向、开关等作用。具有尺寸紧凑、功耗低、成本低等优势。

• 激光成像：控制镜面二维偏转角度，MEMS微振镜将单点激光投射成面，控制激光器的开断，实现对画面的投影成像。具有成像原理简单、尺寸紧凑、功耗低、成本低等优势。

• 激光雷达：作为激光雷达的核心部件之一，MEMS微振镜可以将探测用红外激光扫描到整个车辆行驶前方，以同轴收发方式，采集激光往返的时间差来探测前方空间物体，实现汽车的智能化行驶。具有过规难度小、成本低、技术方案简单等优势。

• 结构光三维测量：配合MEMS微振镜的扫描运动，控制线、点激光的开断，形成不同宽度的光线条纹，相机采集该条纹后可对被测工件进行形貌恢复、三维重构。广泛应用在机器人3D 视觉感知、焊接等工业机器人、医美整容、人脸识别及安防、3D打印等领域。具有功耗低、尺寸小、成本低等优势。

• 静电驱动

• 镜面大

• 角度广

• 功耗低

• 体积小

• 可靠性强

• 重复度好

• 静电驱动 

• 一维扭转