显微自动对焦成像系统

功能特性

■ 大视野显微系统，最大支持像方40mm, 适配8K/5um和65M相机

■ 高分辨率显微系统，物方最高分辨率可达0.4um

■ 集成同轴激光追焦系统，可实现对高速运动成像实时对焦

■ 可选配高速图像对焦系统，解决复杂背景情况下激光无法准确聚焦的问题

■ 同轴科勒照明，外接点光纤及高亮冷光源，可支持面阵相机曝光时间5us以内

■ 推拉式高精度切换器也可支持像方40mm大视野

■ 可定制暗场照明角度，适应不同应用场景

参数规格

对焦模块

激光对焦

■ 将激光器、光学、运动控制、算法处理集于一体

■ 最大5000HZ 对焦频率，可对移动与静止的产品表面进行高速实时追焦

■ 高速以太网通讯，抗干扰性提供工业级可靠性

■ 可广泛应用于无图晶圆、有图晶圆、面板领域

技术指标

单片晶圆的扫描时间

说明：

1、运动速度指不同倍率在对应速度下均能稳定成像，无失焦现象

3、扫描时间只包含采图过程，不包含上下料和图像算法处理时间

应用案例