氧化铝精密陶瓷-三得精密
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公司名称:深圳三得精密技术有限公司
发布时间:2022-03-14
有效日期:2025-03-14
应用领域:精工和光学半导体
关键词:配件
发布时间:2022-03-14
有效日期:2025-03-14
应用领域:精工和光学半导体
关键词:配件
产品详情
深圳三得精密技术有限公司,www.tptet.com,提供平场复消色差物镜、线性扫描镜头、半导体晶圆吸盘、精密陶瓷等高精密产品,多应用于PCB检测、液晶面板检测、半导体晶圆检测等AOI光学检测设备上。
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日本精密陶瓷产品,质量保证。
氧化铝精密陶瓷(Al2O3)是精密陶瓷中最常用的材料, 纯度为99.5%和99.9%的产品。氧化铝是白色或乳白色的陶瓷,利用其优异的电绝缘性能,早期开始即应用在电子部品上,使用量较多,是精密陶瓷中成本最低的材质。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异,可生产大型产品。此外,由于其具有优异的耐等离子特性,也可用于CVD设备或蚀刻设备的部件。
特点:
• 电绝缘性
• 耐磨耗性
• 耐热性
• 耐腐蚀性
• 耐等离子性
主要用途:
• 半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘)
• 一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承)
• 高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具)
型号 | 特点 | 密度 g/cm3 | 杨氏弹性模量 GPa | 弯曲强度 MPa | 断裂韧性 MPa・m1/2 | 热膨胀系数 ×10-6/K | 热传导率 W/m・K | 体积电阻 Ω・cm |
ALP01 氧化铝99.5% | 用途广泛 高刚性 | 3.9 | 370 | 440 | 3~4 | 6.3 | 33 | >1014 |
ALP02 氧化铝99.9% | 高纯度 高刚性 | 3.9 | 370 | 450 | 3~4 | 6.3 | 30 | >1014 |
热膨胀系数为RT~200℃时的测量数据。
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