晶圆视觉检测系统
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公司名称：东莞康耐德智能控制有限公司
发布时间：2024-09-01
有效日期：2028-09-01
应用领域：半导体
关键词：图像处理软件、视觉系统、视觉系统方案需求
发布时间：2024-09-01
有效日期：2028-09-01
应用领域：半导体
关键词：图像处理软件、视觉系统、视觉系统方案需求
产品详情
晶圆视觉检测系统
晶圆包含多个层，而每一层都要执行一个复杂且精确的流程：沉积材料、涂抗蚀剂、光刻、蚀刻、离子注入，最后除去抗蚀剂。但在涂另一层前，必须先检测新蚀刻和注入的层是否有缺陷。因为晶圆层很可能会有划痕、旋转缺陷、曝光问题、颗粒污染、热点、晶圆边缘缺陷，以及影响性能的各种其他缺陷。
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