荷兰一家研究机构的新实验依靠 Emergent 的高速图像捕捉来缓解新颖的覆盖计量概念中的振动挑战。

为了遵循摩尔定律（这是创新的基石，它预测微芯片上的晶体管数量大约每两年翻一番），半导体行业继续突破基本极限。这是 纳米光刻高级研究中心 （ARCNL）位于阿姆斯特丹，是推动该行业蓬勃发展的极端科学挑战之一。

在半导体制造领域，最小的振动都可能导致最大的问题——即不得不报废价值数千美元的加工晶圆。为了解决半导体芯片制造领域的未来技术挑战，ARCNL 开发了一种方法，以克服设备制造商需要确保芯片制造准确性的各种干涉技术中固有的敏感性。

了解更多信息：

Emergent Vision Technologies 的高速相机：

https://emergentvisiontec.com/zh-CN/case-study-high-speed-camera-helps-push-limits-on-semiconductor-metrology/

纳米光刻高级研究中心（ARCNL）：

https://arcnl.nl/