应用场景

硅片需要被抛光到一致的厚度，这是其制造过程中必不可少的流程之一，一致的厚度对制造过程至关重要。超出公差范围的厚度可能导致产量降低、废品增加和高昂的成本。

解决方案

使用深视智能激光位移传感器SG5025对硅片进行厚度测量，采用两台传感器对射测厚的安装方式，把被测量的硅片放在两个传感器之间，硅片的每一测由单独的传感器测量，精度要求5μm，两个传感器的测量值综合运算，提供厚度的最终测量值。

图 | 硅片厚度一致性检测