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08/17
2023
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突破半导体检测瓶颈 博视像元超高精度3D工业相机
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2023-08-17 15:07:43来源: 中国机器视觉网

针对半导体晶圆、芯片、BGA、SMT、IC封装等超高精度检测场景,博视像元科技有限公司微米级超高精度3D工业相机-Rindo HR系列,成功打破海外垄断,将检测精度提升至50nm。

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针对Wafer bump/pillar、芯片BGA、SMT 锡膏表面光洁度高、反光严重、排布密集等特性,Rindo HR系列采用结构光技术,有效解决传统光谱共焦技术精度高但扫描速度低,无法满足检测实时性要求的问题,同时避免了激光3D技术精度不足和遮挡问题。

Rindo HR 系列采用博视像元Bopixel自主研发、拥有自主产权的超高精度DLP光机,DLP分辨率达200万,搭配无风扇高分辨率CXP相机,实现核心部件国产化。此外,系统内嵌装载的自研RindoVision 3D软件,有效解决了非线性误差、高反光、遮挡等疑难问题,立体、高速还原被测物表面形貌,点云数据达6500万级,重复精度最高可到50nm。

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检测物体:8英寸晶圆 die bump

在实际部署中,公司可根据不同需求,灵活配置单目四光机、单目双光机、单光机四相机等不同方案,实现分辨率(5M/12M/25M/65M)高效可选,各类应用场景快速匹配实施,可广泛应用于半导体wafer检测、半导体芯片封装中锡球表面形貌、球径公差,SMT行业中3D SPI检测/3D AOI检测(炉前、炉后)等超高精度检测场景,解决国内厂商检测装备核心模组的卡脖子问题,大幅降低厂商采购成本,节约配置时间,助力企业高效提升品控效率。

性能特点

超高精度:z轴重复精度可达50nm;6500万级点云数据;采集帧率高达51 fps;沙姆投影设计,超高景深;AI+智能算法:有效解决高反光、阴影遮挡问题;广泛应用于半导体晶圆、芯片、SMT等高精度检测场景。