PECVD依靠射频感应产生的等离子体,实现薄膜沉积工艺的低温化，从而节省能源、降低成本、提高产能、减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减，可应用于PERC、TOPCON、HJT等多种电池片的工艺中，PECVD设备正被广泛应用于太阳能光伏行业。

由于工艺要求的不断提升，传统视觉方式很难满足一些特殊的检测要求。我们在对太阳能电池进行清洗制绒后， 依赖Gocator 3D线激光轮廓传感器对硅片进行检测，实现硅片搭边、重叠、异物以及平面度的检测。

项目挑战

高反光和漫反射材质，相机动态范围要求高；尺寸大；速度要求，对传感器的扫描速率要求高；需要检出完全重叠的硅片。

现有方案及结果

选择6台大视野 Gocator 2450覆盖硅片扫描范围，针对缺陷及破损等，基于采集的2D灰度图和3D点云图使用内置算法，判定OK或者NG。针对叠片和异物等，基于采集的2D灰度图和3D点云图定位硅片位置，统计硅片位置ROI内平面度，根据平面度判断硅片是否存在重叠和异物，能够判定硅片是否100%完全重叠。

Gocator 3D检测方案实现组网和自动标定， 单片或多片拼图输出完整点云图，布线简便及简洁，无需编码器分频。检测方案具备高稳定性，助力实现硅片载板检测。

向智能化迈进，运用LMI Technologies 3D视觉帮助客户的工业生产线更加高效、准确地检测，及时发现产品存在的缺陷和问题，提高产品质量和生产效率，最终达到降本增效！