顾名思义，自动对焦是指被测物的成像平面偏离了镜头的焦距范围，导致成像模糊，利用辅助装置使成像平面重新回到镜头最佳焦距范围的一个功能。

景深(Depth of Field, DOF)是关于空间中可以清楚成像的距离范围的概念。它描述了在镜头前方(焦点前和焦点后)可以清晰成像的一段距离范围。

影响景深的因素主要有光圈、焦距、物距和像元尺寸。这里再延申解释下光圈的因素：光圈的大小除了影响画面的亮度以外，也主要影响背景虚化的程度。

上图展示了基本原理，光圈越大、景深越小，光圈越小，景深越大。如果光圈足够小，光线就真的成了一条线，这时无论物距和焦距如何变化，拍摄的画面都是清晰的，这时景深约等于无限大。

在进行显微成像时(通常在1um及1um以下的指标)，镜头的景深通常在几十um或者几um，这时被检物表面的起伏或者平整度范围会超过镜头的景深范围，无法获得足够清晰的图像。为了解决这个问题，Vieworks公司研发了一套基于激光三角法原理的高速自动跟焦系统。

Vieworks自动对焦系统主要组成

系列镜头

VEO系列镜头，是Vieworks公司针对VT系列相机(Vieworks TDI线扫描相机)在最大光圈、极限解析力和镜头一致性等方面做了优化升级后，推出的服务于自动对焦系统的高端镜头系列。

VEO镜头有62mm/82mm成像靶面、1.43X ~ 10X放大倍率、F1.1 ~ F1.3最大光圈等各类规格，以适应半导体、液晶面板检查领域的需要。

VEO镜头的具体介绍，后续文章会再详细列举。

Vieworks自动对焦系统的成像能力

成像能力多说无益，有图有真相，见下图(以下图像均为非涉密产品

Vieworks自动对焦系统的工作效率

工作效率，是指单位时间内(1s)，自动对焦系统能够拍摄的样品面积。这里面有个隐含的技术指标是成像精度。下表中所列参数，其精度指标均在1um及以下：

通过上表中的方案组合可以看出，Vieworks公司推出的面阵解决方案，不仅仅工作效率比线扫的解决方案要高(同等精度指标下，工作效率提高一倍)，在光源的搭配上也更丰富，不仅支持明/暗场光路，同时也有四种颜色的光源可以选择。

综上所述，Vieworks自动对焦系统在应对更多种类的样品、更多类型的缺陷上，会更加的游刃有余。

最后还有一点，也是客户们咨询比较多的一个问题：自动对焦模块能够应对多快的扫描速度？以及能够应对最大高度变化范围?

针对这个问题，Vieworks总部的工程师们实测了一组数据，见下表：

总结：就是扫描的速度越慢，系统能够应对的高度变化范围越大。上表的数据是实测的最快速度下，能够应对的最大高度变化范围。

其他方案组合的实测数据，后续我们会陆续更新。

文章最后，展示两张实拍图片，分别是自动对焦功能开/关的实测对比：