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非接触式光学 3D 轮廓仪系统亮点及其应用
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2024-08-21 10:23:49来源: 中国机器视觉网

来自Novacam的光学 3D 轮廓仪TM系统可用于非接触式3D表面和厚度测量,即使在难以触及的空间如钻孔、管道等,也可进行非接触式微米级精度3D测量,获取尺寸、粗糙度、缺陷、振动或厚度数据。

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光学3D轮廓仪TM系统组件

NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM是一个模块化系统,它的检测能力由其组件共同决定。

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主要包括以下组件:

光学侧视或前视探头:有几种标准尺寸和长度可选,也可以定制;

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MICROCAM干涉仪:为光学探头提供光源,并处理从探头接收到的光信号;

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运动控制系统;PC、显示器和操纵杆。

光学3D轮廓仪TM系统特点和优势

NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM系统拥有基于光纤的探头,易于与精密载物台、第三方坐标测量机、数控机床或机器人集成,以支持大量的流水线工作。

系统优势:可用于测量狭窄空间内部、特殊形状物体外形、平面光滑度以及边缘线性度;对被测物体的表面反射度没有要求(从镜面到全黑都可测量);高速测量,每秒高达100,000个3D点;能够测量静止及运动的物体,包括固体或液体、孔和管的内部、圆柱体的外部等。

光学3D轮廓仪TM系统应用场景

Novacam光学3D轮廓仪TM系统的探测器探头基于光纤的特性,在光学计量行业中具有独特优势,在航空航天、汽车、电力、国防、医疗仪器、电子等多个领域都有应用。应用场景包括尺寸测量、粗糙度测量、缺陷检测(如裂纹、划痕)、半透明材料的厚度测量等。

尺寸测量:在XY载物台上使用光学3D轮廓仪TM系统采集的硅晶圆表面;

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粗糙度:线性粗糙度参数,粗糙度显示为高度和强度图像;

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厚度测量:可用于测量单层或多层、透明或半透明材料。图为人工晶状体的2D横截面;

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缺陷测量:喷气发动机涡轮盘上枞树型插槽的3D几何形状和缺陷。

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(文中产品均由赛维特视觉代理)