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实验室测试完美,但机台测试就翻车?
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2025-04-15 11:05:52来源: 中国机器视觉网

在工业视觉检测中,性能设计好的镜头在机台上使用时引入外置光学元件常有发生--无论是为了保护镜头、实现分光检测,还是被测物特性。通常,由于这些隔层是透光的,大家会忽略这些元件对成像的影响。殊不知,这才是导致实验室测试与机台测试差异的罪魁祸首。这些元件的加入导致原有光路特性改变,进而影响检测精度。今天的文章,我们为大家浅析一下两种常见的场景。

镜头与被摄物中间隔了透明保护介质(保护玻璃/亚克力等 )

在远心镜头与被测物之间存在透明介质会改变有效工作距离。

如下图所示,在使用模拟同轴光源时,都会在原来的工作距离的基础上,把相机和镜头再拉高一点距离。这是因为模拟同轴光源中的玻璃插在空气光路中,改变了光程,因此不拉高镜头进行补偿就会导致成像失焦。

微信图片_20250416110703.png

焦点偏移公式:ΔZ = d×(1-1/n)

其中d为介质厚度,n为折射率。例如,d为棱镜的厚度,n插入介质的折射率。在一个110mm工作距离的远心镜头和对象物之间,插入了一个折射率n=1.5168的20mm的方形棱镜,将导致焦点后移20mm x(1-1/1.5168)=6.814mm,那么镜头需要抬高的距离就是6.814mm。当然,如果光路需要补偿一定的距离,也可以反算出需要插入棱镜的尺寸。

注意点:刚才的公式只是入射角很小时的近似公式。

如下图,光线进入玻璃折射后,可以看到从棱镜第二个面出射方向不变(平行于第一个面的入射光线),即I1= I2’,但会产生位置偏移,且两次折射均满足折射定律:sin I1  =n sin I1’  , n sin I2 = sin I2’,我们需要抬高的距离就是图中的△L’=DG/ sin I1  。

微信图片_20250416110714.png

从图中的三角形DGE可以得到DG=DE*sin(I1-I1’),其中DE=d/cos I1’,d是棱镜的厚度,即:

微信图片_20250416110716.png

再用三角函数关系sin(I1-I1’)=sin I1 cos I1’- cos I1sin I1’  代入上式得到:

微信图片_20250416110719.png

而我们想得到的偏移△L’=DG/ sin I1,把上面的DG代入进去,得到:

微信图片_20250416110806.png

因此,只有在近轴系统,入射角度很小时,我们把cos I 1和cos I 1’ 都看成1,那么就得到了最开始的公式。通常对于入射角度不是很大的情况(尤其是远心镜头的应用),我们可以按照这个公式计算,但是当入射角度很大时,加入了棱镜,就不容易得到一个完善的像了。

透明介质成像补偿要点

插入厚度d、折射率n的透明介质时,需抬高镜头⇒补偿量ΔZ ≈ d×(1-1/n)。

公式适用条件:入射角<10°(远心镜头适用);大角度需用精确公式:ΔL'=d[1-(cosI₁)/(n·cosI₁')]。

可通过以下操作避免:测量介质厚度和折射率;计算理论补偿量(优先用ΔZ公式);实测验证成像清晰度(实验室测试时采用与机台同样的中间介质)。

被测物物体表面粘附薄膜或胶水(半导体蓝膜等 )

实验室测试不一定能拿到被测物原片,有时会用残片或分辨率板测试镜头性能是否达标。我们知道在表面瑕疵检测中常用暗场照明,那么,采集到的图片常会呈现出背景灰度值较低,表面疵病或特征点灰度值高。

而在机台上,实际被测物可能附在膜层上,表面粘附薄膜,表面有胶。有的胶水或薄膜恰好不透可见光,或不透过,低透过表面疵病、特征点反射率较高的照明光波段。此时,在现场的测试工程师为了将被测物打亮常会增大光功率、增大增益,增大积分时间。这导致使本该灰暗的被测物背景呈现出反常的灰度值,不仅增加了不必要的噪声和后期算法的难度,更有可能会无法检测。此时,可见光照明的效果可能就差强人意了。

微信图片_20250416110811.png

针对薄膜覆盖被测物的光学检测优化,建议可以根据被测物与膜层的感光特性采用以下红外穿透方案:

当薄膜在近红外波段透光率较高时,优先采用背面穿透式检测‌。典型应用场景--半导体蓝膜覆盖的晶圆检测,此方案可规避膜层表面反射干扰‌。

对于不透可见光但红外反射率较低的膜层(如黑色吸光膜),胶水,推荐使用短波红外(SWIR)同轴照明,实现正向穿透检测‌。此方式可有效获得膜下产品的表面瑕疵‌。

此外,环境光源也是导致实验室与机台成像差异的另一杀手,为消除环境光源的影响,建议采取以下措施: 

实验室操作:关闭室内照明,或在测试区域覆盖遮光布(建议使用黑色吸光材质);优先选择暗室环境进行光学测试,特别针对曝光时间>200ms或光源亮度<1000lux的场景。

机台配置规范:运行期间关闭顶部照明及周边强光源;设备内部组件采用低反射材质(如黑色氧化处理的金属治具,表面反射率需<5%);避免镜面金属、抛光塑料等高反光材料裸露。