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Allied Vision相机在微电子元件显微镜检测技术中的应用
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2022-03-18 10:22:25来源: 中国机器视觉网

Omek Optics是一家设计并制造低失真度、明场均匀,具有对称科勒型远心照明方式的高端工业显微镜的公司,总部位于以色列Givat Ella,其显微镜主要的应用市场是电子仪器及元件的检测,如晶片、平板显示器、LED和印刷电路板。这家高端工业显微镜创新供应商与 Allied Vision 合作,设计出了一种可应用于工业检测微电子元件领域的低失真成像光学技术。

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低放大率、高分辨率

Omek 显微镜的高分辨率成像和低放大率,以及超宽的视野使它们在市场中脱颖而出。例如,Mic401ET 显微镜配有一个高分辨率短焦透镜,可支持最大1英寸传感器格式的数码相机。

Omek Mic 401ET 显微镜配备上 Allied Vision Manta G-504相机,既有低放大率显微技术又结合高分辨率镜头,在2x或4x的放大率下,用一个500万分辨率的相机能够精准地检测CCD晶片。

Allied Vision Manta G-504相机配有一个2/3英寸,分辨率为2452x2056像素的索尼传感器。在高分辨率的Omek显微镜透镜(80毫米焦距)的加持下,全分辨率传感器因此可以传送高清图像,记录点滴细节。

红外显微技术展现隐藏的细节

配有 Allied Vision Goldeye 短波红外相机的 Omek Mic303显微镜,可用于检测与上述相同的微电子晶片。使用红外成像技术使显微镜能透过硅胶,检查芯片背面的金属元件。

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检查芯片背面金属原件

“我们对与Allied Vision的合作非常满意。Allied Vision相机在可见光和红外光谱内有各种各样分辨率的传感器可供选择,是Omek显微镜的最佳拍档。二者结合在一起,能为用户提供高质图像,满足高要求的工业应用。Omek Optics的首席执行官Shai Eisenberg评论道。

Allied Vision公司的欧洲,中东以及非洲的国际销售经理 Jochen Braun 同样也对 Omek 选择 Allied Vision 产品感到高兴:“Omek 这样高端的显微技术供应商能够选择 Allied Vision 作为数码相机的合作伙伴,令我们倍感骄傲。我们认为这是对我们在可见和红外领域为高要求的工业应用提供高质量和可靠产品的认可。”

在短波红外相机领域,Allied Vision 近期发布了搭载 Sony 最新 SenSWIR 传感器的 Goldeye 以及 Alvium 可见光短波红外相机。这些新机型具有宽光谱范围,可对400nm~1700nm可见光及短波红外光成像。

同时,InGaAs数字传感器的创新结构将像素尺寸缩小至5µm,更凭借Cu-Cu互连技术提升了图像均一度。对于存在高分辨率和精密度要求的短波红外应用,如激光测量系统的光学元件半导体检测或质量检测,更小的像素尺寸尤为重要。