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(CMVU)
CCS于2019年创立的新品牌「CCS-LT」产品第3弹--干涉条纹检测用光源「LDF-NB」系列”于2023年6月13日发售。能将涂层涂布的有无及不均匀等可视化的激光检测用光源「LDF-NB 系列」上市,通过在对象物表面产生干涉条纹(※1)来观察,最适合置换卤素灯和荧光灯。
在制造薄膜、半导体、玻璃等的涂布工序中,为了检测涂布的不均匀和有无,使用了三波长荧光灯和卤素灯等光源。将这些光源照射到涂层面上时,薄膜各层发生的光的反射会产生干涉条纹,可通过次方法观察其状态。但是,这些荧光灯和卤素灯从能源效率等观点出发,制造厂家相继停止生产,寻求替代光源的市场需求正在提高。为了满足这样的要求,CCS将发售适用于干涉条纹产生的光谱宽度,使用激光二极管的检测用光源LDF-NB系列。
激光二极管发出的激光波长适合产生干涉条纹,但如果将激光二极管发出的光直接用于检测产生的斑点噪声(※2 )可能会影响检测。LDF-NB系列通过独特的光学设计降低了散斑噪声、提高了发光面的均匀度(已申请专利)。
※1干涉条纹:通过多个光的重叠、相互增强或减弱的现象称为干涉、由该干涉产生的条纹称为干涉条纹
※2:散斑噪声(speckle noise)当激光照射到漫射面时、漫射光相互干涉、产生图像的闪烁
该系列产品有条型形状的发光面尺寸 200mm×20mm,激光的波长有 658nm(红)、520nm(绿)、450nm(蓝)除此之外还可以混合 658nm、520nm、450nm 的 RGB 的 4 种。另外根据用途不同、尺寸不同、还可进行平面光类形、同轴光类形等的特别定制。
应用案例
薄膜和玻璃等的涂层有无、不均匀检测;玻璃贴合的不均匀检测;晶圆上涂层的不均匀检测。
以下是2个成像实例:
玻璃贴合的不均匀检测
使用普通的白色LED光源,没有条纹干涉的效果,不均匀区域不能可视化
使用干涉条纹检测用光源RGB型,使贴合不均匀可视化
薄膜涂层的有无检测
干涉条纹检测用光源红色型,无涂层时, 干涉条纹不可见
干涉条纹检测用光源红色型,有涂层时, 可见干涉条纹