有消息称，进入中国市场超过20年的全球最大的半导体设备供应商应用材料公司，在最近几年一直在中国寻找可提供配套服务的零部件提供商，但到目前为止，应用材料在开发本土零部件资源方面还在继续探索之中。半导体设备零部件的本地化正引起各方关注。  
 
　　SEMI预测，今年中国芯片制造商预计将购买价值19亿美元的半导体材料以及约16亿美元的最新半导体设备。“当设备及材料总价值达到55亿美元时，我们将会看到从今年到2008年，中国半导体市场将会实现两位数的增长。”SEMI总裁兼首席执行官Stanley Myers认为。中国市场是巨大的，设备产业的发展对整体产业的进步意义深远，同时设备产业的发展也必然带来与半导体设备相关的零部件的本土化问题。信息产业部电子信息产品管理司基础产品处处长王勃华在SEMICON China2006期间举办的“半导体设备本土化与本土化采购高层研讨会”上强调，半导体设备零部件的本土化是市场发展的必然趋势，市场的发展带动了半导体设备和零部件的发展，而且这种发展是必然趋势。

　　发展设备产业零部件是切入点

　　在我国倡导自主创新的今天，零部件的发展对未来中国半导体设备产业的发展将具有极大的推动作用，这一点毋庸置疑。东电电子(上海)有限公司总裁陈捷认为，半导体市场发展有自身的特点，从8英寸到12英寸后，由于产能的成倍增加，设备的机台数明显减少。这是一个僧多粥少的产业，产业波动巨大，竞争激烈。同时客户的全球化趋势明显，因此在中国出现新的设备厂商很难。陈捷强调，国产化不应该是狭义的。就像集成电路产业一样，中国的华虹NEC、宏力半导体都是合资企业的代表。我们要做的关键是找到切入点，而零部件就是一个很好的切入点。“我们可以通过与国外大厂合资的渠道获得技术与品牌效应，从而快速提升竞争力。还有一个方法即是或者在行业低谷之时，购买一些技术较强的国外企业，转到中国制造。或者走单机台多用途的mini-line等道路，也是避开与其他品牌竞争的一种选择。在消费类电子产品量小、品种多、周期快的趋势下，mini-line很可能将在未来兴起。”陈捷指出。

　　作为一家本土的设备供应商，中微半导体设备有限公司的产品面向300mm、90nm以下技术。中微半导体设备有限公司全球客户服务及备件业务部长吴万俊强调，希望中国制造不等同于低价格和低质量，特别是半导体设备行业。本土零部件产业的发展对我国基础产业的发展、对本土设备产业的发展都是意义深远的。“设备产业的市场需求量小，技术含量高，稳定性要求高，而且产业的波动性更大，这一点与消费类产品市场完全不同。如果零部件供应商的产品质量不能保持高度一致，不能适应产业的特点，或者只是单纯追求短期的效益，那么将很难满足半导体产业的要求。”吴万俊说。

　　完善产业链需业界共同努力

　　我国在“十一五”规划中再一次突出强调了要加强制造业的发展，其中包括半导体设备及零部件。要想实现半导体设备及零部件的本土化，不言而喻，要业界上下统一认识，更需要产业链条上各相关企业携手共同努力。

　　中微吴万俊介绍：“从采购价值的角度分析，目前中微的设备中仅有9%的零部件购自中国供应商，我们计划在近两年将这一数字提升到25%，到2010年达到40%。而提升这一比例一定不是中微一家公司能够做到的，这需要从上到下的支持。”

　　随着二手设备在中国市场业务的不断扩大，中国半导体制造厂经常会面临二手设备翻新时找不到合适的备件以及一些早期的设备原厂已没有相关的备件支持等问题。在这种情况下，零部件本土化的重要性日益凸现。对此，上海微高精密机械工程有限公司高级销售经理钟敏认为，在这种情况下，实现零部件本土化才能够降低设备使用者的成本，打破目前零部件工业对我们发展的制约，同时带动整体制造业的进步。而我们要做的就是充分利用国内外的有效资源，特别是国外的资源，实现洋为中用；其次是积极在本土寻找加工公司和制造商。“零部件的本土化是一项需要循序渐进的工作。本土化必须从零部件开始，然后是子系统，继而实现设备的本土化，这不是一家公司的努力能够实现的，需要业界共同面对。”钟敏说。