发布时间：2023-11-16
有效日期：2024-11-01
应用领域：精工和光学半导体
关键词：光源
荷兰ISTEQ公司XWS系列宽带等离子光源
ISTEQ是一家创新的高科技公司，为全球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案-高亮度白光光源。 这些主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。ISTEQ主要重点是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备，适用于从X射线到红外线的光谱区域。
产品介绍：
ISTEQ 的 XWS 光源产品经过专门开发，适用于多种应用，包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量等。产品来源基于尖端技术，并受全球专利保护。
XWS 宽带光源的光谱范围有 2 种不同配置，具体选取决于其具体应用：
无臭氧配置（OFR）：光谱范围为 240 nm 至 2700 nm
UV 配置：光谱范围为 185 nm 至 2700 nm
产品特点：
·连续激光等离子体放电 ·由于无电极，使用寿命长
·宽光谱范围 190-2500 nm ·发射体积小
·高光谱亮度 ·高时空稳定性 STD < 0.15
·通过软件、GUI 进行参数监控，外部光源控制
产品应用：
·吸收光谱和荧光光谱 ·色谱、微流体、芯片实验室
·显微镜，包括共聚焦和荧光 ·液滴光谱仪、细胞荧光计等中的检测器。
·微电子诊断系统（污染和缺陷控制） ·生物医学应用（光动力疗法等）
·薄膜和临界尺寸（CD）计量
·人造阳光系统（测试系统、照明等）
型号参数：
型号 | XWS-30 | XWS-65 | XWS-X | ||
光谱范围 | 190 - 2500 nm （UV ） 250-2500nm（OFR ） | 190 - 2500 nm （UV） 250 - 2500 nm（OFR） | 190 - 2500 nm （UV） | ||
最大光谱亮度mW / (mm²·nm·sr)，(350-550 nm） | 48（UV 配置） | 68（UV 配置） 60（OFR 配置） | 130（UV 配置） | ||
自由空间输出功率 | 高达 1W | 高达 1.8W | 高达 1.5W | ||
光纤耦合输出功率mW 最小/平均/最大 | 300 / 319 / 350 | 510/560/630 | 510/575/650 | ||
等离子体尺寸（光谱范围 350 - 550 nm），μm | 160 x 320 （UV 配置） | 160 x 360（UV 配置） | 150 x 260 （UV 配置） | ||
使用寿命（小时） | 10000 | ||||
时间和空间稳定性 （STD） | < 0.15% | <0.05% | |||
光源介质 | 氙灯 | ||||
自由空间输出 NA（默认） | 0.5 | 0.4 | |||
最大输出NA（根据要求） | 0.6 | 0.5 | |||
外部光学接口 | C 接口，30 mm光学笼 | ||||
等离子体到输出窗口的距离，mm | 14.4 | 21.5 | |||
光纤接口（仅适用与FCU版本） | SMA或FC | ||||
电源 | 100 - 240 V，50/60 Hz | ||||
气体清扫（仅适用于 UV 配置） | 氮气 99.99% | ||||
光头尺寸mm | 149 x 166 x 145 | 130 x 122 x 106 | 130 x 122 x 106 | ||
电源尺寸 mm | 210 x 85 x 46 | 351 x 175 x 232 | 351 x 175 x 232 | ||
水冷光头尺寸mm | - | 113 x 150 x 106 | 113 x 150 x 106 | ||
液冷单元尺寸mm | - | 350 x 166 x 184 | 350 x 166 x 184 | ||
