聚焦终端场景,定义行业标杆
中科慧仪深耕半导体领域,专注行业关键场景需求,以技术创新推动应用升级。公司主要产品有:
显微自动聚焦系统:广泛应用于晶圆有图/无图检测、第三代化合物半导体检测、关键尺寸测量及面板微裂纹检测等场景;
全系列干涉物镜:全系列产品自研自产,突破了国外技术垄断;
超高分辨率振镜相机:集高速扫描与超高分辨率于一体,最高分辨率16亿;
宽视场在线干涉测量仪:220ms内完成超大视场纳米级三维重建,可应用于半导体在线量测场景。
自主创新,开创国产替代新格局
作为行业的创新驱动者,中科慧仪始终以“聚焦终端场景,专注高附加值产品”为发展战略,以客户需求为导向,不断深化产品研发与市场布局。我们不仅致力于服务中国半导体产业,更期望通过持续的技术积累,为全球产业链注入新的活力。
全球领先的半导体量检测模组供应商
未来,中科慧仪将继续以开放的姿态拥抱全球合作,坚持自主创新与产业协同发展,助力中国半导体从追赶到引领,成为全球半导体量检测核心模组的标杆企业。
中科慧仪,不止于检测。
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