在机器视觉领域,数字微镜器件(Digital Micromirror Device, DMD)作为一种成熟的空間光调制器(Spatial Light Modulator, SLM)技术,已广泛应用于数字投影显示领域。近年来,DMD凭借其高分辨率、高速度、高对比度和灵活的编程特性,在半导体和微纳制造领域,特别是直写光刻和三维成像方面展现出巨大的应用潜力。本文主要探讨DMD技术在智能制造领域,包括微纳制造和3D机器视觉领域的应用原理、关键技术、最新进展以及未来发展方向。
精工和光学2024-10-14 | 中国机器视觉网 |
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