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半导体晶圆视觉系统检测方案

2017-12-19 11:39:11来源: http://www.mvotem.com

1、方案背景:

晶圆是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，由于电子产品自身的精密性要求，极有必要对单个元件进行100%可靠的检查，及时有效的将不良产品剔除，要保证最终的产品质量。

2、检测内容：

检测产品制作过程中出现的问题缺陷：如（氧化，刮伤缺陷，线形缺陷，等...）

3、半导体晶圆视觉检测系统方案配置：

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