全球显示面板产业规模在极速扩大，目前主流的平面显示技术主要包括LCD（液晶显示技术）、OLED（有机发光二极管显示技术）、QLED（量子点发光二极管）、Mini LED（微小发光二极管显示技术）以及Micro LED（微米发光二极管显示技术）。

显示平板的制造流程较为复杂，可分为Array制程、Cell制程及Module制程三大阶段，复杂的工艺过程中不可避免地产生各种表面缺陷，包括灰尘、脏污、划痕等，这些缺陷的存在可能对显示面板的功能和外观造成影响。

面板边缘缺陷明暗场检测

01检测需求

检测需求：对面板的芯片和基板封装后进行边缘缺陷检测；对焦精度：＜1μm；跟焦速度：＜30ms；检测方式：线激光对焦光学系统明暗场检测。

02检测原理

通过环形光源的明暗场照明方式，明场照明模式，通过垂直均匀光照呈现样本形态，检测面板外观良好；通过暗场照明方式激发散射光成像，显著增强样品微小颗粒与表面细节对比度，适用于裂纹、划痕等缺陷。

图：慕藤光红外对焦成像解决方案原理

03视觉方案

线激光对焦传感器：MLAF-7V；物镜：5X物镜；相机：彩色相机；光源：明暗场环形光源；扫描速度：120mm/s。

检测效果

图：面板边缘外弧-暗场检测测效果图

图：面板孔区裂痕-明场检测效果图

Mini LED芯片缺陷检测

01检测需求

检测需求：识别并检测缺陷的Mini LED芯片；样品：Mini LED芯片；离焦距离：100-200um；对焦时间：1-1.5s。

02检测原理

慕藤光图像对焦检测是建立在图像AI算法模式上的调焦方法，能够对镜头与传感器采集的图像进行实时分析和处理，进而控制运动轴进行移动完成聚焦，覆盖±150um至±1mm大搜索范围，实现大范围内的快速对焦检测。

图：慕藤光图像对焦检测原理

03视觉方案

相机：CameraLink工业相机；镜头：MF200-C-S；物镜：MA-10F (20X)；图像对焦传感器：MIAF-500；光源：MV-IW；图像格式：2432*2048。

检测效果

图：Mini LED晶圆缺陷芯片检测

OLED柔性面板均匀度修复检测

01检测需求

OLED柔性面板生产中，屏幕高度不一致时需要对焦。

02检测原理

针对面板屏幕高度存在差异的情况，依据图像对焦原理中对物体距离建模及成像焦点计算机制，慕藤光图像对焦传感器MIAF-500可在1-2s内对传感器采集的图像进行实时分析，快速响应，解决±150um范围的精准调节对焦，进而精准检测屏幕显示均匀度。

03视觉方案

图：OLED面板均匀度修复-慕藤光图像对焦视觉方案

检测效果

图：OLED柔性面板均匀度检测图