2022年7月22日，科创板开市三周年之际，作为科创板首批上市的25家企业之一的中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）也已迎来上市三周年。伴随科创板设立至今，依托强大的政策与资金支持，半导体设备龙头股中微公司坚持创新驱动发展，践行科学管理章法，实现了业绩连年稳步增长，并在技术创新、业务拓展、产业链协同、人才建设等方面取得了长足进展。

设立科创板并施行注册制，为科创产业发展注入了新的活力，也为高新技术企业发展创造新的机会。中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示：“在科创板上市，对中微公司意义重大。回望过去三年，我们拓宽了融资渠道，增强了品牌的市场影响力，也赢得更多与产业链上下游企业合作的机会；另一方面，良好的股权激励政策也让我们能更好地激励员工，建设人才队伍，加速发展，为中微公司跻身国际领先的一流设备公司铺平道路。”

2019年7月22日，中微公司在首批25家科创企业集体挂牌仪式上合影

中微公司致力于开发微观加工设备，通过打造具有国际竞争力的技术创新与差异化产品，多元化产品线布局，为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比的设备解决方案。

凭借其在国内首创的高端等离子体刻蚀机，中微公司已经成为国内高端微观加工设备的翘楚。在刻蚀设备方面，中微公司等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米、5纳米以及更先进的集成电路加工制造及先进封装中得到批量应用，其中 CCP等离子体刻蚀设备产品持续保持竞争优势，在部分关键客户市场占有率已进入前三位甚至前两位；ICP刻蚀设备也在客户端取得突破性进展，2021年付运超过130腔，同比增长超过230%；在MOCVD设备领域，中微公司用于氮化镓基LED外延生产的MOCVD设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，中微公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商，并持续保持在行业内的领先地位；此外，中微公司还在开发应用于集成电路后道的先进封装设备，以及MEMS、Mini LED等领域的国际先进设备产品。截至2021年底，中微公司共有2,300多个反应台服务于亚洲与欧洲50余家芯片制造公司的70余条生产线。

作为一家“硬科技”实力公司，中微公司登陆科创板后，仍持续保持高水平的研发投入。大额的研发投入与较高的研发投入占比为公司专注高端微观加工设备的自主研发和创新提供了保障。公司上市3年以来，持续推动落实以研发创新为驱动的高质量增长策略，2021年公司研发同比增长13.8%，占2021年营业收入的比重为23.42%。截至2021年年底，中微公司已拥有多项自主知识产权和核心技术，申请专利达2012项，其中发明专利达1741项；已获授权专利达1179项，其中发明专利达993项。 

作为国内领先的高端微观加工设备公司，除了把募集资金用于加快技术创新、提升产业规模上，整合产业链上下游和相关资源则是中微公司的另一个发力点。中微公司希望凭借充分发挥自身的行业影响力、聚集力 ，积极推动一批国内外领先的半导体设备、材料和关键零部件配套企业协同发展，共同打造企业创新联合体，逐步形成产业集群。

上市三周年，也标志着中微公司迎来了新的成长阶段。未来，中微公司将继续瞄准世界科技前沿，持续践行三维发展战略，深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并积极探索其他新兴领域，将中微公司打造成具有国际竞争力的平台型企业集团，以“硬科技”实力为中国加快建设科技强国和实现高水平科技发展贡献力量。