康宁公司的全资子公司5月25日宣布推出液晶显示器 (LCD) 光罩平坦度测量系统。康宁提供平坦度测量技术的行业领导,并已开发出测量大尺寸 LCD 光罩的技术。光罩平坦度测量系统能对 LCD 光罩进行全表面平坦度测量,具有快速、可重复性以及精确性的特点,因而能满足新一代对平整度的要求。 光罩平坦度测量系统的非接触性入射式全面积扫描干涉仪是在康宁 Tropel 现有的技术上研制而成,能扫描光罩的表面并缝合滚压一系列 200 mm x200 mm 尺寸的平面,因此它能对尺寸达 1220 mm x1400 m
企业动态2006-05-30 | 中国视觉网 |
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