在半导体生产过程中，检测是提升良率的关键环节，主要针对晶圆上的物理缺陷和图案缺陷。光学检测凭借非接触、快速和低成本的优势成为主流方案，而光源的性能直接影响检测效率与可靠性--高亮度、高稳定和多波长选择缺一不可。 

传统卤素灯因寿命短（<1000小时）、亮度不足、紫外波段覆盖差且面临环保淘汰，已无法满足需求。Revox的SLG系列光纤光源以超高亮度、＞2万小时超长寿命和紫外到红外的多波长覆盖，成为半导体、显示及PCB检测的理想选择，助力客户实现更高效、稳定的检测流程。

Revox产品推荐

· 紫外光纤光源

短波长、高精度（SLG-150V-UV系列）

非常适合替换汞灯；高辐射亮度：4.9W@365nm、8.2W@385nm、7.6W@405nm；除 3 种标准波长外，还可定制11种紫外波长。

· 可见光光纤光源

经济之选（SLG-150V/165V系列）

照度>500万LUX，远超250W金属卤化物光源；波长可选白色（CW/DW）R、G、B；165V系列支持5孔电动滤色片转盘。

多端口、分时频闪（SLG-150HSP系列）

支持3路独立输出，节省空间；可自由选配颜色W、R、G、B；支持高速频闪结合高速切换功能，可轻松实现分时频闪/光谱频闪。

超亮、自由混光（SLG-450系列）

超高照度超过2500万LUX；R、G、B混合比例可调、锁定，单口输出各种颜色光；支持常亮、频闪模式，可设置8组亮度值。

旗舰、超亮之选（SLG-600V2系列）

＞5500万LUX超高照度，氙灯升级首选；可选支持5孔位电动滤色片转盘；1μs极速频闪，高速切换任意设定的亮度。

· 红外光纤光源

更强的穿透性（SLG-150V-NIR系列）

740-1650nm全红外波段覆盖，11种波长可选，完美替代卤素光源；超长寿命可达3万小时，远超卤素灯。

产品特性

· 良好的线性度

支持1024级调光，独特校正功能，实现调光线性

· 照明稳定

环境适应性强，亮度波动≤±3%

· 照度反馈系统

智能照度反馈，维持恒定光输出。注：SLG-150/165系列需选配；SLG-450/SLG-600系列标配。

· 丰富的光纤波导选择

可选或定制点、环、线、面等光波导

典型应用

晶圆表面缺陷检测--可见光光纤光源：超亮白光搭配线扫TDI相机，显著缩短曝光时间，大幅提升晶圆扫描效率。

晶圆内部缺陷检测--红外光纤光源：红外高穿透特性，直达内部缺陷。

晶圆表面微小缺陷检测--紫外光纤光源，突破可见光极限，微痕精准成像。

多缺陷检测--分时频闪成像：单工位实现3种光场成像，多类缺陷检出。