概述：

该系统是通过相机对暗场照明下的光学镜（反射镜/窗口镜）镜面的颗粒污染物进行成像，提取并统计颗粒粒径和数量，分析镜面洁净度等级，为镜面状态判断及镜面洁净度处理提供依据。

功能：

系统主要流程分为离线模块与在线模块，离线模块用于系统标定，由于普通镜头和面阵相机组合的成像原理是透视投影，需要进行相机标定来消除镜头畸变、成像平面与相机靶面不平行等因素带来的影响，同时需要尺寸精确的标准物进行散射放大系数量标定，为颗粒粒径的精确测量提供依据。在线模块用于分割提取颗粒、计算颗粒粒径、统计颗粒尺寸区间分布，绘制镜面洁净度曲线等。具体每个模块功能如下所述：

硬件加载模块：系统硬件上电、检查硬件是否连接到处理单元；

软件初始化及状态检测：软件初始化，检查硬件是否正常启动、运行。

图像采集：采集标定图像、镜面颗粒图像，传输给后续处理模块；

成像质量判断：判断图像质量是否合格，是否存在过曝等影响后续图像处理的质量的现象，不合格时需要调整参数，重新采集图像；

相机标定：通过标定板图像，标定相机内外参数、镜头畸变系数等；

散射放大系数标定：普通镜头和普通光源的成像方式存在光源散射的情况，为了准确计量颗粒粒径，需要标定散射放大系数；

图像处理：对镜面颗粒图像进行处理，识别、分割颗粒区域；

颗粒粒径计算与统计：通过相机标定结果与散射放大系数，将颗粒粒径的像素尺寸转换为物理尺寸，并按规定尺寸区间统计颗粒数量；

   显示结果：在界面实现提取的颗粒位置与直径，显示统计结果、绘制洁净度曲线；

   数据分析存储：分析当前图像颗粒统计结果，指导后续操作，将检测结果与图像保存到文件。

指标：

    (1) 可监测镜面尺寸≮Φ230mm

    (2) 模块工作距离不大于500mm

    (3) 可检测最小颗粒粒径不大于50um；粒径监测精度不大于±20um@100um

    (4) 镜面颗粒数目统计误差不大于±10%@100u